雙元科技: SiC檢測系統獲少量訂單

作者 | 發布日期 2024 年 05 月 24 日 19:05 | 分類 企業

近日,浙江雙元科技股份有限公司(雙元科技)在業績說明會上表示,公司技術研發持續向半導體量檢測領域拓展,目前已完成全自動晶圓AOI量檢測系統和晶圓在線光譜量測系統的樣機研發。

截至2024年4月30日,公司的晶圓AOI位錯檢測系統的測試樣機已通過廠商驗證并獲得少量訂單。該設備基于明場反射原理,采用高倍率光學顯微鏡成像技術,實現SiC晶圓位錯缺陷的高速、精準、非接觸式的無損光學檢測。結合AI識別算法,可對晶圓中的TSD、TED、BPD瑕疵實現精準的識別和分類。此次訂單簽訂標志著公司正式邁入半導體量檢測領域。

公開資料顯示,雙元科技專業從事生產過程產品質量在線自動測控和機器視覺應用技術的研發。在半導體領域,公司擁有晶圓全自動AOI瑕疵檢測系統、白光干涉量測系統、光譜共焦傳感器量測系統。

其中,晶圓全自動AOI瑕疵檢測系統可以檢測6~12英寸的Si/SiC/GaN/GaAs/Glass等晶圓材料。該系統可以檢測晶圓表面的顆粒,臟污,針痕,劃痕,裂痕,殘膠,圖形缺失,圖形黏連,尺寸測量等。(集邦化合物半導體Morty整理)

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